大型清洁超高真空获得初探

DISCUSSION OF TECHNIQUES OBTAINING LARGE CLEAN ULTRAHIGH VACUUM SYSTEM

    摘要
  • 摘要: 文章介绍了3200m3大型真空容器的清洁高真空系统的方案配置和使用情况.说明低温泵和涡轮分子泵的结合使用,可以获得清洁的超高真空环境.

     

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