多层复合真空离子镀膜技术的新发展

NEW DEVELOPMENT OF ION COATING TECHNIQUES OF MULTI-LAYER FILM

    摘要
  • 摘要: 本文介绍了利用多弧--磁控溅射多功能离子镀膜设备在氮化钛掺金离子镀(IPG)方面的典型应用,并对复合式离子镀膜设备的结构及特点做了介绍.

     

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